Primele microscoape
electronice cu baleiaj, numite si Scanning Electron Microscope (SEM), au fost
construite in anul 1935, de catre Max Knoll, la putin timp dupa aparitia celor
cu transmisie (TEM). La inceput, intrucat nu erau utilizate lentile condensor
pentru micsorarea dimensiunii laterale a fasciculului de electroni pe proba,
rezolutia SEM era limitata la o valoare in jurul a 100 µm.
Microscoapele
electronice cu baleiaj sunt formate dintr-un tun de electroni si mai multe
lentile electromagnetice si aperturi, oarecum similar cu constructia TEM. Desi
tunul de electroni este identic, tensiunea de accelerare pentru producerea
fasciculului de electroni este cu un ordin de marime mai mic (intre 1 si 40
kV). Totodata, spre deosebire de TEM, fasciculul de electroni este focalizat
astfel incat are un diametru foarte redus la suprafata probei, de ordinul
nanometrilor (1 - 10 nm).
Totodata, lentilele
electromagnetice cu care sunt prevazute aceste microscoape
electronice
dau forma fasciculului si nu contribuie direct la formarea imaginii, asa cum se
intampla in cazul celor cu transmisie.